インライン計測機
要求される寸法精度や環境などの条件によって
接触式、非接触式の3種類のインライン計測機を使い分けています。
1）接触式
例）
ケージA・B・C・Dライン
ケージA・B・C・Dライン
| 計測内容： | 窓巾 |
| 計測方法： | 接触式（市販変位センサ使用） |
| 計測公差： | －0.005 ～ －0.050 |
2）非接触式（光センサ方式）
例）
ギヤシャフトライン
ギヤシャフトライン
| 計測内容： | 研削後外形・テーパ |
| 計測方法： | 非接触式（市販光学式センサ使用） |
| 計測公差： | 外径／Ø12.003（＋0.003 ～ －0.005） |
3）非接触式（画像処理方式）
例）
ケージA・B・C・Dライン
ケージA・B・C・Dライン
| 計測内容： | 柱巾相互誤差・面取り巾 |
| 計測方法： | 画像処理方式（市販ビジョンセンサ使用） |
| 計測公差： | 相互誤差 0.4mm以下・面取り巾 0.3mm |
高精度複屈折測定装置
高精度複屈折測定装置（ユニオプト(株)製）
ガラスや液晶パネル、半導体など透明材料の歪を測る装置です。0.01ナノメートルの計測精度とスピードは世界トップクラス。液晶基板ガラスの検査装置としては国内市場のデファクトスタンダードであり、半導体製造素材の検査装置としても国内でほぼすべてのメーカーに採用されています。その他、高分子フィルムの検査装置等にも使用されています。
定寸装置
定寸装置（高精度／広範囲）
自動ライン内の研削盤に装着し、研削中のワークの寸法を0.1ミクロン単位で測定する装置です。あらかじめ設定した寸法まで研削されると、自動的に停止。研削しながら測定ができるため、加工精度とスピードの向上に貢献しています。
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